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特点: WOQ系统是通过一个聚光镜激光传感器,配合由CNC电脑控制的主机,对测量工件进行高速测量。由于聚光镜激光器的优越性能,基本上不受工件的表面性质影响,包括工件的反光度。可以测量至85度的垂直面,配用不同的规格的物镜,可以达至不同的测量精度、重复性及测量行程。

孔径规详细资料

WOQ SYSREM Ⅰ
X、Y、Z轴行程:150×150×120mm
分解度       :0.00625mm
定位精度     :0.01mm
重复精度     :2.5um
定位速度     :4m/min

WOQ SYSTEM Ⅱ
X、Y、Z 轴行程:350×250×120mm

聚光物镜规格

FL16

FL25

FL50

FL75

FL100

FL125

FL150

绝对精度(um)

2

3

6

10

15

20

25

重复精度(um)

0.1

0.4

1

2

4

8

10

测定行程(mm)

0.5

1.8

8

18

35

45

70

工作距离(mm)

9

15

35

60

70

240

110

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