半导体特气检测仪XD-303（自动吸引式）
半导体特气检测仪XD-303（自动吸引式）
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特点:
D303（自动吸引式）半导体特气检测仪具有以下特点：
采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。
高检测灵敏度。
能检测很多种类的半导体特气。
液晶数字显示。
半导体特气检测仪XD-303（自动吸引式）详细资料
特点：
采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。
高检测灵敏度。
能检测很多种类的半导体特气。
液晶数字显示。
规格
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型 号 |
XD-303AH |
XD-303PH |
XD-303BH |
XD-303 |
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检测对象气体 |
砷 烷 ( A S H 3 ) |
磷 烷 ( PH 3 ) |
乙硼烷 ( B 2 H 6 ) |
其它 |
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检 测 范 围 |
0 ～ 1ppm 0 ～ 0.2ppm |
0 ～ 1ppm 0 ～ 0.3ppm |
0 ～ 1ppm |
因规格而异 |
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最 小 刻 度 |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm |
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采 样 方 式 |
自动吸引式 | |||
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应 答 速 度 |
60%应答40秒 | |||
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